RGK系列氣氛管式爐主要應用于半導體材料的擴散、氧化工藝;也可應用于玻璃對金屬的封裝焊接石英制品的熱處理、LED發光粉體材料的煅燒等工藝。
采用高純石英管作為內爐膛,具有良好的潔凈度;耐火、保溫材料全部采用先進的輕質纖維制品,整機質量輕、能耗低;加熱元件采用真空成型FEC陶瓷纖維加熱器;溫控系統采用進口多段智能程序溫度控制儀控制,溫度控制具有良好的穩定性、重復性,溫度控制精度高
最高溫度可達1400度,其他參數按照用戶提出系列要求來設計。
設備型號 | RGL-07/75/3 | RGL-09/60/6 | RGL-18/110/3 | RGL-25/100/6 |
最高溫度 | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1400℃ |
使用溫度 | RT~1000℃ | RT~1000℃ | RT~1000℃ | RT~1250℃ |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ |
溫區個數 | 3個 | 6個 | 3個 | 6個 |
加熱區長度 | 750mm | 600mm | 1100mm | 1000mm |
爐管尺寸 | ?70(外徑)×2200(mm) | ?90(外徑)×1800(mm) | ?1860(外徑)×2100(mm) | ?250(外徑)×2100(mm) |
爐管材料 | 耐熱鋼管/石英管 | 石英管 | 石英管 | 碳化硅管 |
爐管數量 | 單管 | 雙管 | 單管 | 單管 |
發熱元件 | 進口電阻絲 | 進口電阻絲 | 進口電阻絲 | 硅碳棒 |
最大裝機功率 | 8Kw | 15Kw | 20Kw | 60Kw |